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膨脹法真空裝置

本真空標準裝置主要用于( 1.3×105 ~ 1.3×10-1 ) Pa范圍內電容薄膜真空計,熱偶真空計等的檢定/校準工作,主要具有以下特點: 1.1兼顧比較法和膨脹法兩種裝置,便于客戶靈活靈活掌握和保證設備可以長期使用; 1.2膨脹法裝置部分選取所有儀器和設備均可以提供長期質保。比較法用標準器電容薄膜規有原廠提供質保。 1.3采用專用軟件進行數據采集及處理,工作效率高; 1.4系統軟件終身免費升級,裝置總體水平達到國內先進水平。

關鍵詞:標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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產品詳情

一  概述
本真空標準裝置主要用于( 1.3×105 ~ 1.3×10-1 ) Pa范圍內電容薄膜真空計,熱偶真空計等的檢定/校準工作,主要具有以下特點:
1.1兼顧比較法和膨脹法兩種裝置,便于客戶靈活靈活掌握和保證設備可以長期使用;
1.2膨脹法裝置部分選取所有儀器和設備均可以提供長期質保。比較法用標準器電容薄膜規有原廠提供質保。
1.3采用專用軟件進行數據采集及處理,工作效率高;
1.4系統軟件終身免費升級,裝置總體水平達到國內先進水平。

二  主要技術指標
2.1 設備組成:膨脹系統、抽氣系統、前級壓力測量系統、控制系統等組成。
2.2 技術原理:靜態比較法,一級膨脹;
2.3 測量范圍:(1.3×105~1.332×10 ) Pa;
2.4 極限真空度:≤1×10-4Pa;
2.5 不確定度技術要求:: 
(1.332×105~1.332Pa×103)Pa          U≤0.08 %  k=2  靜態比對法;
(1.332×103~13.32Pa)       U≤0.2%  k=2   一級膨脹;
(13.32×10~1.332Pa)        U≤0.5%  k=2   一級膨脹;
(1.332×10~0.1332Pa)        U≤1%  k=2   一級膨脹

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